Barium-silicide-based bulk body, film, and method for manufacturing same

WO2015129878 Art A1 3. September 2015

Anmelder: Tosoh Corporation, University of Tsukuba 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015129878
Aktenzeichen: EP15755467
Anmeldetag: 27. Februar 2015
Veröffentlichung: 3. September 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/06H01L21/363

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tosoh Corporation
University of Tsukuba
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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