Optical temperature sensor and method for manufacturing optical temperature sensor

WO2015133427 Art A1 11. September 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015133427
Aktenzeichen: EP15758899
Anmeldetag: 2. März 2015
Veröffentlichung: 11. September 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01K11/12G01K1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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