Ion radiation device and ion radiaiton method
WO2015137150
Art A1
17. September 2015
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015137150
- Aktenzeichen
- EP15761453
- Anmeldetag
- 27. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 17. September 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/30H01J37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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