Resist material for oxygen plasma etching, resist film, and laminate using same

WO2015137438 Art A1 17. September 2015

Anmelder: DIC Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015137438
Aktenzeichen: EP15761361
Anmeldetag: 12. März 2015
Veröffentlichung: 17. September 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02C08G77/442C08G81/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DIC Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 DIC Corporation

DIC Corporation ist ein japanischer Chemiekonzern (früher Dainippon Ink and Chemicals) mit Schwerpunkt auf Druckfarben, Pigmenten und organischen Feinchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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