Resist-layer-equipped blank provided with development-acceleration layer

WO2015141706 Art A1 24. September 2015

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015141706
Aktenzeichen
EP15765329
Anmeldetag
18. März 2015
Veröffentlichung
24. September 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/82G03F1/38G03F1/50G03F7/11H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HOYA Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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