Thermistor based measurement system

WO2015142552 Art A1 24. September 2015

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015142552
Aktenzeichen: EP15764787
Anmeldetag: 9. März 2015
Veröffentlichung: 24. September 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01R31/26G01R19/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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