Switchable laser and fiber based lamphouse for optimal power output in different wavelength bands and pixel sizes

WO2015142926 Art A1 24. September 2015

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015142926
Aktenzeichen
EP15765734
Anmeldetag
17. März 2015
Veröffentlichung
24. September 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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