Method and apparatus for generating a predetermined three-dimensional contour of an optical component and/or a wafer

WO2015144700 Art A2 1. Oktober 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMS Ltd, Carl Zeiss SMT GmbH 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015144700
Aktenzeichen: EP15741796
Anmeldetag: 24. März 2015
Veröffentlichung: 1. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/60G03F1/72G03F7/20H01L21/66G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMS Ltd
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇮🇱 Israel

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von