High-resolution patterning of multiple layers side by side

WO2015144930 Art A1 1. Oktober 2015

Anmelder: IMEC VZW, FUJI-FILM Corporation 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015144930
Aktenzeichen: EP15712640
Anmeldetag: 28. März 2015
Veröffentlichung: 1. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L51/00H01L51/56H01L27/32G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
FUJI-FILM Corporation
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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