Substrate angling device, substrate angling method, and substrate conveying method

WO2015145480 Art A1 1. Oktober 2015

Anmelder: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015145480
Aktenzeichen: EP14887018
Anmeldetag: 25. März 2014
Veröffentlichung: 1. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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