Position displacement detection method, position displacement detection device, drawing device, and substrate inspection device

WO2015145864 Art A1 1. Oktober 2015

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015145864
Aktenzeichen: EP14887680
Anmeldetag: 18. November 2014
Veröffentlichung: 1. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G01B11/26G01N21/956G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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