Organic metal compound-containing gas supply device

WO2015145907 Art A1 1. Oktober 2015

Anmelder: UBE Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015145907
Aktenzeichen: EP14887303
Anmeldetag: 25. Dezember 2014
Veröffentlichung: 1. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UBE Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ube Industries

Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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