Heat treatment device

WO2015145974 Art A1 1. Oktober 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Suzuki Industry Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015145974
Aktenzeichen: EP15770118
Anmeldetag: 26. Februar 2015
Veröffentlichung: 1. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31C23C16/46H01L21/22H01L21/324H01L21/677H05B6/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Suzuki Industry Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von