Polishing composition, method for using same, and substrate production method

WO2015146363 Art A1 1. Oktober 2015

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015146363
Aktenzeichen
EP15769003
Anmeldetag
16. Februar 2015
Veröffentlichung
1. Oktober 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/14B24B37/00C09G1/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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