Pattern forming method

WO2015146524 Art A1 1. Oktober 2015

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015146524
Aktenzeichen: EP15768588
Anmeldetag: 4. März 2015
Veröffentlichung: 1. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/26G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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