Mobile body apparatus, exposure apparatus, production method for flat panel display, production method for device, and drive method for mobile body

WO2015147319 Art A1 1. Oktober 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015147319
Aktenzeichen: EP15767818
Anmeldetag: 30. März 2015
Veröffentlichung: 1. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B11/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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