High Power Broadband Light Source

WO2015148671 Art A1 1. Oktober 2015

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015148671
Aktenzeichen: EP15767755
Anmeldetag: 25. März 2015
Veröffentlichung: 1. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/063G02B6/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

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