Apparatus for processing a flexible substrate and method for cleaning a processing chamber thereof

WO2015149869 Art A1 8. Oktober 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015149869
Aktenzeichen: EP14716542
Anmeldetag: 4. April 2014
Veröffentlichung: 8. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/54C23C14/56C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von