Optisches Modul mit einer Verformungsanordnung und Verfahren zur Verformung eines Optischen Elements

WO2015149873 Art A1 8. Oktober 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015149873
Aktenzeichen: EP14715309
Anmeldetag: 4. April 2014
Veröffentlichung: 8. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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