Control system, positioning system, lithographic apparatus, control method, device manufacturing method and control program

WO2015150466 Art A2 8. Oktober 2015

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015150466
Aktenzeichen: EP15741899
Anmeldetag: 1. April 2015
Veröffentlichung: 8. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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