X-ray inspection apparatus for inspecting semiconductor wafers

WO2015153847 Art A1 8. Oktober 2015

Anmelder: Nordson Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015153847
Aktenzeichen: EP15773785
Anmeldetag: 2. April 2015
Veröffentlichung: 8. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03C5/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nordson Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Nordson

Nordson ist ein US-amerikanischer Hersteller von Präzisionsdosier- und Auftragssystemen für die industrielle Fertigung. Das Portfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt durch Kunststofftechnik, Verpackung sowie Mess- und Prüfsysteme, etwa für die Röntgeninspektion von Bauteilen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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