Verfahren und Anordnung zur Betätigung eines Elements

WO2015154994 Art A1 15. Oktober 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015154994
Aktenzeichen: EP15741804
Anmeldetag: 24. März 2015
Veröffentlichung: 15. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/00G02B7/02G02B7/182H02N2/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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