Mask blank, phase shift mask, and phase-shift mask manufacturing method

WO2015156016 Art A1 15. Oktober 2015

Anmelder: Dai Nippon Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015156016
Aktenzeichen: EP15776115
Anmeldetag: 29. Januar 2015
Veröffentlichung: 15. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dai Nippon Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dai Nippon Printing

Japanisches Unternehmen der Druckindustrie mit Sitz in Tokio, das sich über klassische Druckerzeugnisse hinaus in Elektronikmaterialien, Displaykomponenten und Verpackungslösungen diversifiziert hat.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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