Non-destructive wafer recycling for epitaxial lift-off thin-film device using a superlattice epitaxial layer

WO2015156871 Art A2 15. Oktober 2015

Anmelder: The Regents Of The University Of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015156871
Aktenzeichen: EP15742411
Anmeldetag: 15. Januar 2015
Veröffentlichung: 15. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents Of The University Of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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