Estimating and eliminating inter-cell process variation inaccuracy
WO2015157464
Art A1
15. Oktober 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015157464
- Aktenzeichen
- EP15776369
- Anmeldetag
- 8. April 2015
- Veröffentlichung
- 15. Oktober 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B9/02G01B11/00G01B11/27
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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