Load lock chamber for a vacuum processing system and vacuum processing system

WO2015158384 Art A1 22. Oktober 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015158384
Aktenzeichen: EP14718575
Anmeldetag: 16. April 2014
Veröffentlichung: 22. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56C23C16/44C23C16/54H01J37/32H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von