Vorrichtung zur Ausbildung einer Beschichtung auf einer Substratoberfläche

WO2015158715 Art A1 22. Oktober 2015

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015158715
Aktenzeichen: EP15716521
Anmeldetag: 14. April 2015
Veröffentlichung: 22. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/32C23C14/24C23C14/56H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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