Film forming apparatus, substrate processing apparatus and device manufacturing method

WO2015159983 Art A1 22. Oktober 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015159983
Aktenzeichen: EP15780431
Anmeldetag: 17. April 2015
Veröffentlichung: 22. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455B05B15/12B05D1/02B05D3/06B05D7/24G03F7/20H01L21/027H01L21/31H01L21/316H01L51/50H05B33/02H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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