Pellicle for euv lithography

WO2015160185 Art A1 22. Oktober 2015

Anmelder: Industry - University Cooperation Foundation Hanyang University 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015160185
Aktenzeichen: EP15779852
Anmeldetag: 15. April 2015
Veröffentlichung: 22. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/64H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Industry - University Cooperation Foundation Hanyang University
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University

Die Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University ist die Patentverwertungseinrichtung der südkoreanischen Hanyang University in Seoul. Das Portfolio deckt vor allem Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Medizintechnik und Gesundheit ab, ergänzt um Nachrichtentechnik und Software. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit 2002.

414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von