High Purity Gas Purifier
WO2015161245
Art A1
22. Oktober 2015
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015161245
- Aktenzeichen
- EP15720845
- Anmeldetag
- 17. April 2015
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B01D53/04B01D53/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
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