Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Positionierung einer Vielzahl von Verstellbaren Spiegel-Elementen einer Vielspiegel-Anordnung

WO2015162092 Art A1 29. Oktober 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015162092
Aktenzeichen: EP15716095
Anmeldetag: 20. April 2015
Veröffentlichung: 29. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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