Solid Vaporizer
WO2015164029
Art A1
29. Oktober 2015
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015164029
- Aktenzeichen
- EP15782798
- Anmeldetag
- 28. März 2015
- Veröffentlichung
- 29. Oktober 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/44C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
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