Automated inline inspection of wafer edge strain profiles using rapid photoreflectance spectroscopy

WO2015164309 Art A1 29. Oktober 2015

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015164309
Aktenzeichen: EP15783812
Anmeldetag: 21. April 2015
Veröffentlichung: 29. Oktober 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/16G01N21/95H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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