Integrated magnetic suspension coarse and fine moving mask table driven by planar motor

WO2015165335 Art A1 5. November 2015

Anmelder: Tsinghua University, Beijing U-Precision Tech Co. Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015165335
Aktenzeichen: EP15785961
Anmeldetag: 17. April 2015
Veröffentlichung: 5. November 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tsinghua University
Beijing U-Precision Tech Co. Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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