Vapor deposition device

WO2015167105 Art A1 5. November 2015

Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015167105
Aktenzeichen: EP14891106
Anmeldetag: 17. Dezember 2014
Veröffentlichung: 5. November 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L51/56H01L21/205H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Advanced Institute of Science and Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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