Method and system for intrinsic led heating for measurement
WO2015168651
Art A1
5. November 2015
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015168651
- Aktenzeichen
- EP15785872
- Anmeldetag
- 1. Mai 2015
- Veröffentlichung
- 5. November 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01J1/24G01R31/44G01M11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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