Polishing composition for edge roll-off improvement

WO2015171423 Art A1 12. November 2015

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation, Lau, Hon Wu, White, Michael 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015171423
Aktenzeichen: EP15788759
Anmeldetag: 30. April 2015
Veröffentlichung: 12. November 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C09K3/14H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Cabot Microelectronics Corporation
Lau, Hon Wu
White, Michael
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von