Charged particle beam device and detection method using said device

WO2015174221 Art A1 19. November 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015174221
Aktenzeichen: EP15792880
Anmeldetag: 21. April 2015
Veröffentlichung: 19. November 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/10H01J37/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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