Laser annealing device, serial conveyance path for laser annealing, laser beam radiation means, and laser annealing method

WO2015174347 Art A1 19. November 2015

Anmelder: The Japan Steel Works, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015174347
Aktenzeichen: EP15793283
Anmeldetag: 8. Mai 2015
Veröffentlichung: 19. November 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/268B65G49/06H01L21/20H01L21/265H01L21/324H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Japan Steel Works, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 The Japan Steel Works

The Japan Steel Works ist ein japanischer Maschinenbaukonzern, unter anderem für Spritzgießmaschinen und Stahlkomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Fertigungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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