Polishing table replacement apparatus, method for replacing polishing table, and device for replacing constituent part of semiconductor device production apparatus

WO2015174375 Art A1 19. November 2015

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015174375
Aktenzeichen: EP15792531
Anmeldetag: 11. Mai 2015
Veröffentlichung: 19. November 2015
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/34B24B37/20H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ebara Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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