Defect sampling for electron beam review based on defect attributes from optical inspection and optical review

WO2015175894 Art A1 19. November 2015

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015175894
Aktenzeichen: EP15793329
Anmeldetag: 15. Mai 2015
Veröffentlichung: 19. November 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/225G01N21/88G01N21/95H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA - Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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