Pellicle-manufacturing device

WO2015182483 Art A1 3. Dezember 2015

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc., Tazmo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015182483
Aktenzeichen: EP15798947
Anmeldetag: 21. Mai 2015
Veröffentlichung: 3. Dezember 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/64G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsui Chemicals, Inc.
Tazmo Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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