Electron beam imaging with dual wien-filter monochromator
WO2015183734
Art A1
3. Dezember 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015183734
- Aktenzeichen
- EP15798987
- Anmeldetag
- 22. Mai 2015
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/05H01J49/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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