Method for calculating the metrics of an ic manufacturing process

WO2015185576 Art A1 10. Dezember 2015

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Aselta Nanographics 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015185576
Aktenzeichen
EP15724734
Anmeldetag
2. Juni 2015
Veröffentlichung
10. Dezember 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G03F1/36G03F1/80G06F17/50H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Aselta Nanographics
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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