Charged particle beam device

WO2015185995 Art A1 10. Dezember 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015185995
Aktenzeichen: EP15803678
Anmeldetag: 29. Juli 2015
Veröffentlichung: 10. Dezember 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244C09K11/00C09K11/62G01T1/20G01T1/29

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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