Use of an etch stop in the mim capacitor dielectric of a mmic

WO2015187301 Art A1 10. Dezember 2015

Anmelder: Raytheon Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015187301
Aktenzeichen: EP15723097
Anmeldetag: 7. Mai 2015
Veröffentlichung: 10. Dezember 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L27/08H01L27/06H01L49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Raytheon Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Raytheon Company

US-amerikanisches Rüstungs- und Technologieunternehmen mit Sitz in Massachusetts, heute Teil von RTX Corporation. Entwickelt Verteidigungssysteme, Radartechnik, Flugabwehr, Sensorik und Luftfahrtelektronik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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