Magnet assisted stage for vibration and heat reduction in wafer scanning

WO2015187803 Art A1 10. Dezember 2015

Anmelder: The Regents of The University of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015187803
Aktenzeichen: EP15803470
Anmeldetag: 3. Juni 2015
Veröffentlichung: 10. Dezember 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/677H01L21/68H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: The Regents of The University of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

2.541 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von