Cmp compositions and methods for polishing rigid disk surfaces

WO2015187820 Art A1 10. Dezember 2015

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation, Palanisamy Chinnathambi, Selvaraj, Tian, Lu 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015187820
Aktenzeichen: EP15803811
Anmeldetag: 3. Juni 2015
Veröffentlichung: 10. Dezember 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C09K3/14G11B5/84

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Cabot Microelectronics Corporation
Palanisamy Chinnathambi, Selvaraj
Tian, Lu
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

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