Enhanced capacity fluid storage transport, and dispensing apparatus

WO2015187859 Art A1 10. Dezember 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015187859
Aktenzeichen
EP15803876
Anmeldetag
3. Juni 2015
Veröffentlichung
10. Dezember 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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