Rastersondenmikroskop und Verfahren zum Untersuchen einer Oberfläche mit Grossem Aspektverhältnis

WO2015197398 Art A1 30. Dezember 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015197398
Aktenzeichen: EP15729158
Anmeldetag: 15. Juni 2015
Veröffentlichung: 30. Dezember 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q10/04G01Q10/06G01Q70/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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